真空箱式爐一般由爐膛、電熱裝置、密封爐殼、真空系統(tǒng)、供電系統(tǒng)和控溫系統(tǒng)等組成。密封爐殼用碳鋼或不銹鋼焊成，可拆卸部件的接合面用真空密封材料密封。為防止爐殼受熱后變形和密封材料受熱變質(zhì)，爐殼一般用水冷或氣冷降溫。爐膛位于密封爐殼內(nèi)。根據(jù)爐子用途,爐膛內(nèi)部裝有不同類型的加熱元件，如電阻、感應(yīng)線圈、電極和電子槍等。熔煉金屬的真空箱式爐爐膛內(nèi)裝有坩堝，有的還裝有自動澆注裝置和裝卸料的機械手等。真空系統(tǒng)主要由真空泵、真空閥門和真空計等組成。

真空爐按加熱方式分為真空電阻爐、真空感應(yīng)爐、真空電弧爐、真空自耗電弧爐、電子束爐（又稱電子轟擊爐）和等離子爐等。

1）完全消除了加熱過程中工件表面的氧化、脫碳，可獲得無變質(zhì)層的清潔表面。這對于那些在刃磨時僅磨一面的刀具（如麻花鉆磨削后使溝槽表面的脫碳層直接暴露于刃口）切削性能的改善關(guān)系極大。

2）對環(huán)境無污染，不需進行三廢處理。

3）爐溫測定、監(jiān)控精度明顯提高。熱電偶的指示值與爐溫溫度達到±1.5°c。但爐內(nèi)大批工件不同部位的溫差較大，若采用稀薄氣體強制循環(huán)，仍可控制在±5°c溫差范圍內(nèi)。

4）機電一體化程度高。在溫度測控精度提高的基礎(chǔ)上，工件移動、氣壓調(diào)節(jié)、功率調(diào)節(jié)等均可預先編程設(shè)定，按步驟實施淬火和回火。